无尘室定义将空气中之尘埃、压力、温度、湿度、气流分布之情形及速度,控制于一定范围内之空间。此处所指之尘埃为肉眼无法看见的灰尘及微粒子;且指一般空气清净机无法完全清除之灰尘。
无尘室洁净度等级标准
无尘室空气洁净度等级(级)划分
无尘室一般要求: a. 静态空气中粒子数≤100颗/升。动态空气中粒子数≤1000颗/升。
特殊要求: a. 静态空气中粒子数≤500颗/升;动态空气中粒子数≤3000颗/升。对粒径≥0.5μm的尘埃粒子和菌类,其沉降菌量应符合下列规定: (1)沉降菌量应小于等于1个/皿(cfu); (2)沉降菌量应小于等于5×105cfu/10cm2。
无尘室对粒径≥0.5μm的尘埃粒子,其浮游率不得大于50%。对粒径≥0.5μm的尘埃和微生物,在气流输送过程中产生的二次污染不得超过10个皿(cfu)。
无尘室内温湿度要求 无尘室的温度宜控制在20±2°C为宜;相对湿度宜保持在50±5%范围内
无尘室
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无尘室无尘车间 人流出入洁净区必须按以下程序和要求进行。